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关于电子工业用金基蒸发材料及溅射靶材公示结果

项目名称:电子工业用金基蒸发材料及溅射靶材

项目基本情况:金基蒸发材料研究始于上世纪90年代,早期主要研究和产品试制,至2006年年产销量在几十公斤,科技生产人员2名。2012年在国家科技支撑计划课题金的高效绿色制备及其高附加值产品开发2012BAE06B05)支持下,经过多年努力,突破了高纯金原料提纯、AuBeAuGeAuSn等脆性合金规则颗粒制备、AuGeAuGeNi合金箔材产品制备、超低含碳量高纯金蒸发源及高纯金、AuGe12AuGe11.5Ni5合金大尺寸靶材制备等多项核心技术,建成年产3吨生产线,产品销售从2000年十多公斤发展到20163000公斤,产值接近7亿元。科研生产人员从起初2名发展到现在10多名,成为功能材料事业部主要增长点。2016年底蒸发金生产线与金丝生产线合并成立半导体事业部。

项目简介:高纯金(Au01)及合金(AuGe2-12AuGe11-12Ni2-5AuBe1-2AuZn5AuSn20-25AuGa1) 蒸发材料及溅射靶材,具有良好的综合性能,是制造化合物(GaNGaAs等)半导体芯片不可替代的关键基础材料,大量应用于制造发光二极管(LED),核高基、微波通信器件和太阳能电池等。本技术发明之前,金基蒸发材料及靶材主要依赖于进口,严重制约我国电子工业发展。

    20121月至201412月,在国家科技支撑计划课题金的高效绿色制备及其高附加值产品开发” ( 2012BAE06B05)支持下,围绕金基蒸发材料及靶材产品开发、工艺优化和产品标准化展开研究,突破本领域的部分关键性技术,建成完整的、系统化金基蒸发材料及溅射靶材生产线。突破了如下关键技术:

     1、高纯金原料提纯制备技术;

     2、高纯金及合金加工制备污染控制技术;

     3AuBeAuGeAuSn等脆性合金规则颗粒制备技术;突破AuGe2-12合金凝固体积膨胀关键工艺,连铸2-4毫米合金丝材,有效减少碳及氧化物等夹杂物,降低含气量,解决脆性合金规则颗粒成型难题。

     4、超低含碳量高纯金蒸发源及高纯金、AuGe12AuGe11.5Ni5合金大尺寸靶材制备技术;

5AuGeAuGeNi合金箔材产品制备技术;

开发成功产品有Au01Au1AuGe2AuGe12AuGe11.5Ni2AuGe11.5Ni5AuBe1AuBe1.5AuSn20-25AuZn5等十多个新牌号,几十个规格产品。获授权发明专利7项。产品质量达到国外同类产品水平,获得国家重点新产品称号(编号2010GRF30002)。建成年产3吨金基蒸发材料及溅射靶材生产线,制定一项行业标准,2项企业标准。产品推广应用到厦门三安光电科技(集团)有限公司、中国电子科技集团公司第五十五研究所等上百家单位。项目2016913日通过中国有色金属工业协会组织科技成果评价{中色协科(评)字[2016]087}20141月至201612月,累计销售产品7525公斤,新增产值13.5亿元,新增加工费4444.2万元,市场占有率达到70%

金基蒸发材料及溅射靶材产品服务于国防军工工程配套和半导体产业,大量替代进口应用于半导体生产线。产品开发成功,生产线建成和推广应用,保障我国国防建设需要,极大促进半导体工业快速发展。随着我国半导体集成电路和LED行业快速发展,特别是LED照明民用市场全面打开,全球LED产业已经进入快速发展期, 2020年全球LED市场将达到1500亿美元规模左右,复合增速达42.6%。金基蒸发材料及溅射靶材作为LED关键基础材料,未来需求将达到10/年以上,产品具有重大推广应用价值。

候选人对项目的贡献情况:

谢宏潮:

1金的高效绿色制备及其高附加值产品开发课题第十负责人,其中“高纯金靶材系列高附加值产品制备关键技术开发及产业化示范任务第一负责人;

2、金基蒸发材料及溅射靶材科研生产负责人,生产线建设负责人;

3、获授权国防发明专利七件(见获得知识产权情况),第一发明人。

阳岸恒:

1金的高效绿色制备及其高附加值产品开发课题第十七负责人,其中高纯金靶材系列高附加值产品制备关键技术开发及产业化示范任务第二负责人,

2、金基蒸发材料及溅射靶材科研生产负责人,现金基蒸发材料技术负责人;

3、获授权国防发明专利七件(见获得知识产权情况),第二发明人。

庄滇湘:参加国家科技支撑项目金的高效绿色制备及其高附加值产品开发课题科研和管理工作;

1、负责项目组织、协调、实施、管理和团队建设等;

2、获授权发明专利二件(第⑴件中排名第三,第⑵件中排名第二)。

朱勇:

1、国家科技支撑项目金的高效绿色制备及其高附加值产品开发课题第三十五负责人;

2、长期从事金基蒸发材料科研和生产工作、对脆性合金规则颗粒制备技术作出贡献;

3、获授权发明专利三件(第⑸件中排名第六,第⑹件中排名第三,第⑺件中排名第四)。

周利民:

 1、参加国家科技支撑项目金的高效绿色制备及其高附加值产品开发课题科研和管理工作;负责课题组织、协调、实施、管理和团队建设等;

巫小飞:

1、参加国家科技支撑项目金的高效绿色制备及其高附加值产品开发课题管理工作;负责课题组织、协调、实施、管理和团队建设等;

2、获授权发明专利二件(第⑹件中排名第三,第⑺件中排名第五)

罗雁波:

1、获授权发明专利一件(第⑵件中排名第五)

2、七件专利主要起草者。

李艳琼:

参加国家科技支撑项目金的高效绿色制备及其高附加值产品开发课题管理工作;

    1、负责课题组织、协调、日常管理、课题汇报材料编写上报等。

获得知识产权情况

获授权国防发明专利七件

⑴、200610120488.7金锗合金共晶型钎料箔材的制备方法;

⑵、200810076342.6一种金合金材料及其制备方法;

⑶、201010047713.5一种蒸发用高纯金材料及其制备方法;

⑷、201010048568.2一种磁控溅射用高纯金靶材及其制备方法;

⑸、201218006259.9一种金锗镍合金靶材及其制备方法;

⑹、201318004431.1金锗合金材料规则颗粒及其制备方法;

⑺、201418002874.1一种金铍合金规则颗粒材料及其制备方法;

 

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