当前位置:贵研铂业股份有限公司 > 新闻中心 > 公司动态 > 内容阅读

申报2017年度云南省科学技术发明奖公示

项目名称:电子工业用金基蒸发材料及溅射靶材

完成单位:贵研铂业股份有限公司

项目基本情况:

2007年贵研铂业股份有限公司获得国家科技支撑计划项目金基蒸发材料系列产品开发及产业化技术研究2007BAE26B03)支持;2012年再次得到国家科技支撑项目金的高效绿色制备及其高附加值产品开发课题支持(2012BAE06B05)。

经过几十年努力建成了年产5吨生产线,产品销售从2000年十几公斤发展到20163000公斤,产值达到7亿元。

项目简介:

高纯金(Au01)及合金(AuGe2-12AuGe11-12Ni2-5AuBe1-2AuZn5AuSn20-25AuGa1) 蒸发材料及溅射靶材,具有良好的综合性能,是制造化合物(GaNGaAs等)半导体芯片不可替代的关键基础材料,大量应用于制造发光二极管(LED),核高基、微波通信器件和太阳能电池等。本技术发明之前,金基蒸发材料及靶材主要依赖于进口,严重制约我国电子工业发展。

    20121月至201412月,在国家科技支撑计划项目课题金的高效绿色制备及其高附加值产品开发” ( 2012BAE06B05)支持下,围绕金基蒸发材料及靶材产品开发、工艺优化和产品标准化展开研究,突破本领域的部分关键性技术,建成完整的、系统化金基蒸发材料及溅射靶材生产线。突破了如下关键技术:

1、高纯金原料提纯制备技术;

2、高纯金及合金加工制备污染控制技术;

3AuBeAuGeAuSn等脆性合金规则颗粒制备技术;突破AuGe2-12合金凝固体积膨胀关键工艺,连铸2-4毫米合金丝材,有效减少碳及氧化物等夹杂物,降低含气量,解决脆性合金规则颗粒成型难题。

4、超低含碳量高纯金蒸发源及高纯金、AuGe12AuGe11.5Ni5合金大尺寸靶材制备技术;

5AuGeAuGeNi合金箔材产品制备技术;

开发成功产品有Au01Au1AuGe2AuGe12AuGe11.5Ni2AuGe11.5Ni5AuBe1AuBe1.5AuSn20-25AuZn5等十多个新牌号,几十个规格产品。获授权发明专利7项。产品质量达到国外同类产品水平,获得国家重点新产品称号(编号2010GRF30002)。建成年产5吨金基蒸发材料及溅射靶材生产线,制定一项行业标准,2项企业标准。产品推广应用到厦门三安光电科技(集团)有限公司、中国电子科技集团公司第五十五研究所等上百家单位。20131月至201612月,累计销售产品7525公斤,新增产值13.5亿元,新增加工费4444.2万元,市场占有率达到70%

金基蒸发材料及溅射靶材产品已经服务于国防军工工程配套和半导体产业,大量替代进口应用于半导体生产线,产品开发成功,生产线建成和推广应用,保障我国国防建设需要,极大促进半导体工业快速发展。随着我国半导体集成电路和LED行业快速发展,特别是LED照明民用市场全面打开,金基蒸发材料及溅射靶材作为LED关键基础材料,未来需求将达到10/年以上,产品具有重大推广应用价值。

候选人对项目的贡献情况:

谢宏潮:

本课题第一负责人,金基蒸发材料及溅射靶材科研生产负责人,生产线建设负责人;获授权国防发明专利七件(见获得知识产权情况),第一发明人。

阳岸恒:

本课题第七负责人;金基蒸发材料及溅射靶材科研生产负责人,现金基蒸发材料技术负责人;获授权国防发明专利七件(见获得知识产权情况),第二发明人。

庄滇湘:

本课题第五负责人;负责项目组织、协调、实施、管理和团队建设等;获授权发明专利二件(第件中排名第三,第件中排名第二)。

朱勇:

长期从事金基蒸发材料科研和生产工作、对脆性合金规则颗粒制备技术作出贡献;获授权发明专利三件(第件中排名第六,第件中排名第三,第件中排名第四)。

巫小飞:

负责课题组织、协调、实施、管理和团队建设等;获授权发明专利二件(第件中排名第三,第件中排名第五)

罗雁波:

负责课题管理、团队建设和专利主要起草者等;获授权发明专利一件(第件中排名第五)

获得知识产权情况

获授权国防发明专利七件

  200610120488.7金锗合金共晶型钎料箔材的制备方法;

  200810076342.6一种金合金材料及其制备方法;

  201010047713.5一种蒸发用高纯金材料及其制备方法;

  201010048568.2一种磁控溅射用高纯金靶材及其制备方法;

  201218006259.9一种金锗镍合金靶材及其制备方法;

  201318004431.1金锗合金材料规则颗粒及其制备方法;

  201418002874.1一种金铍合金规则颗粒材料及其制备方法;

主要科技成果曾获科技奖励情况:

金基功能材料关键技术及产业化2016年度中国有色金属工业科技进步二等奖。

Copyright 1999-2009, Sino-Platinum Metals Corp.LTD., All Rights Reserved
贵研铂业股份有限公司.版权所有
滇ICP备06001805号